На Международной выставке и конференции по нанотехнологиям «Nano tech 2007», проходящей в Токио с 21 по 23 февраля, два подразделения компании Fujitsu (Fujitsu Ltd и Fujitsu Laboratories Ltd) представили новую технологию, основанную на углеродных нанотрубках (carbon nanotube, CNT). CNT – молекулы цилиндрической формы в десятки тысяч раз тоньше человеческого волоса, состоящие из атомов углерода. Уникальные свойства нанотрубок позволяют с успехом использовать их во многих отраслях информационной индустрии. О массовой доступности нанотехнологий говорить рановато, но работают в этом направлении множество компаний. Так, недавно компания Nantero даже заявила о начале производства энергонезависимой памяти на основе CNT-технологии.
Использование CNT позволит по мнению специалистов в ближайшем будущем создавать сверхпроводимые транзисторы, на порядок превосходящие современные кремниевые аналоги. В конечном итоге речь идёт о создании мощных интегральных схем с высочайшей производительностью. Данные исследования компания Fujitsu проводит в рамках национального японского проекта MIRAI, где также участвуют Toshiba, Matsushita Electric Industrial, ULVAC и университет Васеда (Waseda University).
Как сообщили представители компании, в данном случае удалось получить многослойные CNT-структуры, наращиваемые вертикально на кремниевой подложке с помощью метода химического осаждения пара (chemical vapor deposition, CVD), при этом в качестве катализатора применяются наночастицы металла. Для связи слоев используется медь. Особенность представленной технологи в том, что сделан значительный шаг по разработке взаимной совместимости нанотехнологий и традиционного кремниевого производства.
